Main Menu

iqrate.comТехнологииНанотехнологии → Разработаны способы создания наномембран для приемников инфракрасного изображения

Разработаны способы создания наномембран для приемников инфракрасного изображения

оборудование для производства

Для того чтобы получить высококачественное изображение на тепловизоре, используют охлаждаемые детекторы. Однако новые технологии, в которых применяют микроэлектромеханические устройства, МЭМС, дают возможность получать столь же качественное изображение, как и существующие фотоприемники, работающие в условиях сильного охлаждения. Эта технология подразумевает формирование на поверхности кремния за счет глубоко травления и последующего напыления матриц из мембранных термочувствительных элементов. Каждый элемент формирует на изображении один пиксель.

Специалисты из ООО «ЭЛЕМ ИНФО» разработали конструкцию подобных мембранных элементов, технологию их изготовления и регламент испытаний. Созданные модельные устройства показали, что сделанный по этой технологии детектор будет работать без охлаждения при температуре 22 градуса С и обеспечит точность 50 мК. Этот результат соответствует мировому уровню, а технология не требует замены существующего в стране оборудования в случае организации производства детекторов. Возникает потенциальная возможность замены в существующих приборах охлаждаемых детекторов на неохлаждаемые, что сокращает эксплуатационные расходы.

Работа выполнена при поддержке Роснауки (в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007 — 2012 годы»)